密闭循环气路中微型真空泵的应用

一、背景介绍

电子产品生产行业中，经常需要测试产品附带的化学物质，在高温环境和一定压力条件下产生的气体，是否带有毒性和污染，损害人体健康。需要将产品拿到密闭的高温箱里面进行加热实验（一般温度100℃以内），然后抽取密闭高温箱里面产生的气体进行检测，待检测完后再将气体打回到原来的高温箱里面继续加热反应。在这样一个密闭循环的气路中需要用到微型真空来充当气流的动力源。例如：生产检测多层挠性板、柔性线路板基材、保护胶片等领域。

二、应用简介

用户在使用密闭循环气路原理检测气体含量的时候，都采用微型气泵来推动管路中气体介质流动。微型气泵体积小巧、功耗低、控制和连接方便等因素，所以受到很多实验工作人员的青睐。微型气泵在调节精准小流量、小压力过程中更具有显著的效果。但现在市面上所销售的微型气泵很多都是产品功能单一、寿命短、只能抽取常温介质温度，使用性能远不能满足用户的使用要求。成都海霖科技研发生产的微型真空泵，在控制功能方面有多种调速控制方法可选，用户可以根据自己的实际应用做选择。对有抽打高温介质气体（50~100℃）的客户需求，特别推出可以定制高温介质型微型真空泵的方案，满足不同客户现场需求。

另外在一些密闭循环气路中，密闭高温反应容器A是带有一定的正压力。当微型泵从容器A抽气到另外一个容器B检测的时候，容器A内部压强会降低，又因为气路阻尼因素，导致从容器B流回到原容器A的压力和流量都有衰减，影响容器A里面的产品反应的压力条件。为了保证容器A里面的压力恒定不变，可以在容器A的进气口再加装一个相同版本型号的微型真空泵，给两台微型真空泵输入相同电信号运转，当容器A出气口被抽气后内部压强降低，进气端可以补充相同流量的气体进来。（如果密闭循环气路使用过程中，对压力参数条件没有要求那么采用如下图1的方案，如果对压力参数有要求则采用如下图2的方案）

三、项目难点

1、现场需要抽取高温气体介质，介质温度范围：70~90℃，一般的微型真空泵都不能满足条件。
2、用户测试多组数据，需要反复调节微型泵的流量大小，想要操作简单并能直观反映泵的运行状态。
3、密闭循环气路里面抽取气体检测的过程中，需要保持密闭反应容器中的正压力值恒定，不会因为密闭反应容器被抽走气体而破坏了实验所需的压力条件。并且抽取和打入的气体流量大小相近。

四、解决方案

1、海霖科技研发的微型真空泵，适合于现场抽打高温介质温度范围在：（50~100℃）以内，都可以定制高温介型微型真空泵。

2、海霖科技研发的微型真空泵，为了更方便用户的操作和观察，特意研发了带触控显示功能的真空泵，可以直接通过手指触摸显示屏上的“+”或“-”进行调节泵的转速，并且直接通过显示屏上可以直观查看泵的运行转速状态，当气泵停转或发生异常的情况，在显示屏上直接可以看到报警故障代码，直接找到故障原因。通过触摸显示屏上的开关按钮可以直接启停气泵。

3、海霖科技研发的微型真空泵，任意抽取两台相同型号版本的微型真空泵对比，都有很好的参数一致性。在密闭循环气路中，气路设计相对复杂，阻尼较大，导致流回到原密闭容器的压力和流量衰减严重。采用两台相同型号版本的D系列抽打气泵，通过控制电路分别给两台真空泵接入相同的控制电信号，就可以得到两组近似相同的流量和打气压力，保持容器里面的压力在一个恒定的范围（但此方案要确定两台气泵之间连接的气路规格相同，阻尼相近；并且密闭容器中的正压力值，不能大于所选择的微型真空泵的最大打气压力值，才可以达到这样的效果）。