微型隔膜泵在激光器行业的应用

一、背景介绍

        激光器——能发生激光的装置，至1958年问世以来，几十年时间内迅速叠代，功能不断完善，体积逐渐减小，构件愈发精密，在通讯，医疗，军事等高科技领域取得了革命性突破。以其工作介质可以分为四大类：气体激光器、固体激光器、半导体激光器和染料激光器，目前激光器广泛应用在激光精密切割、激光3D打印、激光打标、激光刻蚀等工业制造领域。

二、应用简介

        对于气体激光器而言，激光发生器根据谐振腔承载的气体介质不同，可以产生不同波长光源，用途也有所不同：
1.氦氖激光器：最重要的红光放射源（632.8 nm）
2.二氧化碳激光器：波长约10.6 μm（红外线），重要的工业激光
3.一氧化碳激光器：波长约6-8 μm（红外线），只在冷却的条件下工作 4.氮气激光器：337.1 nm (紫外线) 5.混合气体激光器：不含纯气体，而是几种气体的混合物（一般为氩丶氪等）
        这里以二氧化碳激光器为例，它是以CO2气体作为工作物质的气体激光器，在谐振腔中充满CO2及He、N2等辅助性气体，在循环泵的作用下，于管路中不断往复运动，通过向谐振腔施加强电压，形成电流，在放电的过程中腔体内N2分子受电子的撞击而激发，与CO2分子发生碰撞，将能量传递给CO2分子，CO2分子从低能级跃迁至高能级，释放出光子，在谐振腔内的反射镜和输出镜的共同作用下，光子又将能量传递给更多的CO2分子，使其他更多的CO2分子进入群发状态，释放更多光子，形成激光。

 

1.载气过程：通过隔膜泵吸入待激发工作介质、辅助气体，载入管路内部。
2.循环过程：通过隔膜泵实现管路内部气体循环，确保足够数量的CO2分子有效跃迁，产生稳定激光。
        微型气泵作为载气循环泵，相当于激光器中驱动气体进行流通和循环的动力，需要满足激光器工作状态下对于气体循环的各项要求。

三、项目难点

1.不污染载入的气体介质，不含油和其他杂质组分，避免其他分子进入谐振腔干扰。
2.循环泵在设备使用过程中需保持稳定流量、压力，以获得稳定的流体传输，同时也不能污染气体介质，高稳定性
3.载气泵、循环泵要求极高的气密性，以确保气体泄漏率处于极低状态。
4.长寿命，理想状态下微型泵工作寿命需要大于等于激光器工作寿命，才能实现激光器全寿命期间的免维护与免更换。

四、解决方案

D23系列抽打气泵
用途：作为载气泵和循环泵使用，给体系供给气体，循环管路内部气体。
简述：微型抽打气泵，可在吸气口产生负压，吸入气体，并在排气口施加一个正压，排出气体。适用于采样、气体循环等场景。
优点：
1.体积小巧，流量稳定，正、负压力适中，以增强尼龙和EPDM橡胶材质，对腐蚀性气体、放射性气体有良好的耐受性；
2.采用无干扰无刷电机不会对设备其他压敏元件产生影响；
3.抽气口、排气口均可带大负载，采用两次密封的方式，泄露率低，气密性好；
4.采用磁消音技术，运行噪音小，性能稳定，参数一致性高，寿命长，连续工作寿命可达10000小时以上。